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標(biāo)準(zhǔn)表氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱傳導(dǎo)原理測流量的儀表,具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便,測量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。該儀表采用恒溫差法對氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測量。采用熱傳導(dǎo)原理:直接測量氣體的質(zhì)量,不需要溫度、壓力補(bǔ)償,是一種先進(jìn)的氣體流量測量儀表,它代表了氣體流量測量的發(fā)展趨勢。廣泛應(yīng)用于電力、石油天然氣、環(huán)保、冶金、食品、造紙、醫(yī)藥等行業(yè)單一氣體和固體比例多組份氣體的流量測量。傳感器部分:標(biāo)準(zhǔn)表氣體質(zhì)量流量計(jì)由兩個基準(zhǔn)級鉑電阻溫度傳感器組成,采用橋式環(huán)路,一個傳感器測量流體溫度,另一個...
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觸摸屏氣體流量控制器是一種測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償,可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制,是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的質(zhì)量流量,輸出質(zhì)量流量信號,不用其他設(shè)備??梢缘臏y量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。流量控制器功能:①流量設(shè)定:在閥控狀態(tài)下,以F.S滿量...
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氣體質(zhì)量流量控制器是一種精確測量氣體流量的儀表,是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的不可少的控制單元,它的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制,大量用于電子工藝設(shè)備(如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD.等離子刻蝕、濺射等)以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中。它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量流過氣體的質(zhì)量流量,具有溫度、壓力囪動補(bǔ)...
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1:流量術(shù)語體積流量:也叫工況流量,即單位時間內(nèi)實(shí)時溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為:ml/min和L/min。標(biāo)況流量:通過溫度、壓力補(bǔ)償后得到的體積流量。標(biāo)況一般定義(1)壓力:1個大氣壓(101.325KPa)(2)溫度:0℃/15℃/20℃/25℃,具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(rèn)(25℃,101.325KPa),單位一般為:SCCM和SLPM。質(zhì)量流量:單位時間內(nèi)流體流過管道橫截面的質(zhì)量。易度質(zhì)量流量控制器測量出的是標(biāo)況流量,需要計(jì)...
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氣體質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器是指主要適用小微流量(從0.000001m3/小時到300m3/小時,對應(yīng)管徑從直徑3mm到65mm)氣體測量和控制的傳感器和自動化設(shè)備。按原理分類主要有兩種:1、層流壓差原理的氣體質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器;2、熱式原理的氣體質(zhì)量流量計(jì)與氣體質(zhì)量流量控制器。層流壓差原理圖層流壓差原理的質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,因其原理特點(diǎn),只需檢測到氣體壓差、壓力和溫度,即可測控氣體流量。易度自主設(shè)計(jì)的傳感器可檢測到極微小流量下產(chǎn)生的壓力、壓差,因此易度質(zhì)量流量...
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層流壓差流量計(jì)是測控氣體流量的儀表,是計(jì)量氣體流量的計(jì)量器具。質(zhì)量流量計(jì)(MFM)和控制器(MFC)使用前需要預(yù)熱,這是熱式原理MFM/FMC產(chǎn)品的一個特點(diǎn)。為什么呢?這是由熱式原理測量方式所決定,其產(chǎn)品流道內(nèi)需另外開一旁通微小的管道,通常叫毛細(xì)管,通過把毛細(xì)管加熱到一定溫度,再通過一定的公式來計(jì)算流量。剛開機(jī)的熱式產(chǎn)品因?yàn)槊?xì)管溫度還未達(dá)到正常測量時需求的溫度,所以需要在管道通氣后先加熱到預(yù)定溫度,才可以準(zhǔn)確測量,這個加熱的過程就是預(yù)熱的過程,時間通常為5~30分鐘不等。從...
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極微小流量控制器的特點(diǎn)是靈敏度高、一致性強(qiáng)、性能穩(wěn)定、精度高,標(biāo)準(zhǔn)的精度誤差為±3%(即100毫升里的誤差在上下3毫升)定制精度在±2%。小型流量計(jì)分為霍爾式和光電式兩種,霍爾流量計(jì)是由霍爾元件、磁鐵組成的;光電流量計(jì)是利用光學(xué)原理檢測,內(nèi)部不含磁鐵。需要注意的是:這兩種流量計(jì)內(nèi)部都有葉輪,所以不適合檢測啤酒、氣泡水類的液體,因?yàn)楫?dāng)液體進(jìn)入流量計(jì)內(nèi)部時,葉輪轉(zhuǎn)動會產(chǎn)生很多氣泡,導(dǎo)致流量計(jì)精度降低。其原理如下:在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對加熱器,并將...
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質(zhì)量流量計(jì)1什么是質(zhì)量流量計(jì):質(zhì)量流量計(jì),英文MassFlowMeter(簡稱MFM),用來快速、精確測量過程氣體流量大小的精密傳感器。這里講的質(zhì)量流量計(jì)主要應(yīng)用于低壓、小流量的單一或混合氣體,低壓一般在1Mpa以下,最大可達(dá)3Mpa;流量范圍一般為:0.1sccm-5000slpm;單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等,要求相對干燥、純凈;混合氣體則需明確氣體種類和比例。2質(zhì)量流量計(jì)可獲得哪些參數(shù):易度質(zhì)量流流量計(jì)可精確獲得氣體的實(shí)時溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計(jì)流量五...