質(zhì)量流量計(jì)
1什么是質(zhì)量流量計(jì)：
質(zhì)量流量計(jì)，英文Mass Flow Meter（簡(jiǎn)稱MFM），用來快速、精確測(cè)量過程氣體流量大小的精密傳感器。這里講的質(zhì)量流量計(jì)主要應(yīng)用于低壓、小流量的單一或混合氣體，低壓一般在1Mpa以下，最大可達(dá)3Mpa；流量范圍一般為：0.1sccm-5000slpm；單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等，要求相對(duì)干燥、純凈；混合氣體則需明確氣體種類和比例。

2質(zhì)量流量計(jì)可獲得哪些參數(shù)：

易度質(zhì)量流流量計(jì)可精確獲得氣體的實(shí)時(shí)溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計(jì)流量五大參數(shù)。

3質(zhì)量流量計(jì)的單位：

一般為：SLPM（標(biāo)況下升/分鐘）和SCCM(標(biāo)況下毫升/分鐘），均為標(biāo)況下的體積流量單位，易度標(biāo)況定義為101.325KPa和25℃。

4質(zhì)量流量計(jì)的構(gòu)成：

易度層流質(zhì)量流量計(jì)主要由層流元件、壓差傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、電路設(shè)計(jì)、軟件算法六部分組成。

5層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)的工作原理：

層流壓差原理，基于哈根泊肅葉定律設(shè)計(jì)的

在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下，氣體是層流狀態(tài)時(shí)，通過獲取層流元件兩端的壓差信號(hào)，計(jì)算出體積流量，然后通過溫度、壓力等參數(shù)的修正，獲得標(biāo)準(zhǔn)體積流量。

質(zhì)量流量計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖：

6質(zhì)量流量計(jì)的通訊：

質(zhì)量流量計(jì)可通過RS485、profibus等數(shù)字信號(hào)，0-5V 、4-20mA模擬信號(hào)或觸摸式顯示屏面板來進(jìn)行介質(zhì)切換、標(biāo)況定義更改、參數(shù)顯示等操作。

質(zhì)量流量控制器
1什么是質(zhì)量流量控制器：
質(zhì)量流量控制器，英文Mass Flow Controller（簡(jiǎn)稱MFC），用來快速、精確、穩(wěn)定控制過程氣體的流量大小，是自動(dòng)化設(shè)備中的氣路控制核心部件。質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于控制低壓、小流量的單一或混合氣體，低壓一般在1Mpa以下，最大可達(dá)3Mpa；流量范圍一般為：0.1sccm-5000slpm；單一氣體如常見的空氣、氦氣、氬氣等，要求相對(duì)干燥、純凈；混合氣體則需明確氣體種類和比例。

2質(zhì)量流量控制器可控制哪些參數(shù)：

易度質(zhì)量流量控制器可根據(jù)客戶工藝要求，控制氣體流量大小，該流量是標(biāo)況下的體積流量，同時(shí)也可獲得氣體的實(shí)時(shí)溫度、壓力、工況流量、瞬時(shí)流量等關(guān)鍵參數(shù)。

3質(zhì)量流量控制器的單位：

一般為：SLPM（標(biāo)況下升/分鐘）和SCCM(標(biāo)況下毫升/分鐘），均為標(biāo)況下的體積流量單位，易度標(biāo)況定義為101.325KPa和25℃。

4質(zhì)量流量控制器的構(gòu)成：

層流質(zhì)量流量控制器主要由層流元件、壓力傳感器、壓差傳感器、溫度傳感器、精密比例調(diào)節(jié)閥、電路設(shè)計(jì)和軟件算法七部分組成。

5質(zhì)量流量控制器的工作原理：

層流質(zhì)量流量控制器，內(nèi)置壓力和溫度傳感器，能充分補(bǔ)償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異，并根據(jù)作為電信號(hào)發(fā)送的設(shè)定流量通過精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動(dòng)控制氣體流量，從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測(cè)量和控制。

質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)示意圖：

6質(zhì)量流量控制器的通訊：

質(zhì)量流量控制器可通過RS485、profibus等數(shù)字信號(hào)，0-5V 、4-20mA模擬信號(hào)或觸摸式顯示屏面板來進(jìn)行流量設(shè)定、介質(zhì)切換、標(biāo)況定義更改、參數(shù)顯示等操作。