近日，易度儀器收獲喜訊，其自主研發(fā)的通用型層流質(zhì)量流量計系列產(chǎn)品，通過中國計量科學研究院的計量器具型式評價試驗，獲得中國..層流質(zhì)量流量計計量器具型式批準資質(zhì)證書（簡稱CPA證書）。產(chǎn)品精度達到國家可批準.高級別1.0級，重復性0.1%，響應時間0.01S。

一直以來，小微氣體、液體流量的測量和控制被西方發(fā)達國家技術(shù)壟斷，這項技術(shù)在眾多制造領域，包括半導體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術(shù)。易度儀器層流質(zhì)量流量計的研發(fā)和誕生，是公司博士、碩士組成的高素質(zhì)創(chuàng)業(yè)骨干，聯(lián)合國內(nèi)..的..學者等組成研發(fā)團隊，面對國外技術(shù)，自2011年以來恪守流體測控領域，自主創(chuàng)新，不懈努力的結(jié)晶。

苦心孤詣：七年研發(fā)，挑戰(zhàn)世界難題

2011年，這個以“80后"為主力軍的研發(fā)團隊開始向國外技術(shù)發(fā)起挑戰(zhàn)，當時國外進口的設備獨步天下，相關(guān)技術(shù)也被西方發(fā)達國家壟斷，國內(nèi)只有個別廠商可以生產(chǎn)一些低端產(chǎn)品，精度低，重復性差，只能配套于低端產(chǎn)業(yè)，由于缺乏核心傳感器技術(shù)，即便拆開了國外的設備，也難以突破。無數(shù)事實表明：試圖通過仿制國外產(chǎn)品的路是走不通的。從研發(fā)一開始，易度團隊就清醒地認識到，精密儀器屬于技術(shù)密集型產(chǎn)品，只有通過自主創(chuàng)新，遵循“概念論證"——“關(guān)鍵技術(shù)驗證"——“方案驗證"——“原理樣機"——“工程樣機"——“產(chǎn)品樣機"——“產(chǎn)品"的技術(shù)路線，才能真正掌握技術(shù)，研發(fā)出高精尖的產(chǎn)品。

這一技術(shù)路線耗時之長、成本之高、風險之大，他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活，有家人的不理解，也有周圍人的嘲笑。當時在微流量測量領域擺在研發(fā)團隊面前的有兩條技術(shù)方向：一是以傳熱學原理為基礎的熱式質(zhì)量流量計，主要由歐美日的六七家公司占據(jù)全球絕大部分市場，是技術(shù)的主流，技術(shù)成熟度較高，但國內(nèi)一直無法掌握熱式傳感器這一技術(shù)核心；另外一條是以“哈根泊肅葉定理"為基礎的層流質(zhì)量流量計，其核心的層流傳感器研發(fā)由于技術(shù)難度更高，制造工藝極為復雜，讓那些生產(chǎn)熱式質(zhì)量流量計的國際..廠商也望而卻步。幾十年來，全球范圍內(nèi)..取得重大層流技術(shù)突破的只有一家美國公司，但離實現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)應用還有不小的距離。

最終，考慮到熱式技術(shù)已趨于成熟，發(fā)展空間趨于飽和，在充分調(diào)研后，這群80后“初生牛犢，擁有廣闊技術(shù)發(fā)展空間，但技術(shù)門檻更高的層流質(zhì)量流量計技術(shù)路線，開始專注于攻克核心技術(shù)——“通用型層流傳感器"的研發(fā)。

獨立自主：攻克核心，成就中國..

毫不夸張地說，一個國家微流體測控水平的高低，決定著制造業(yè)水平的高低。小微流量測控領域通常測量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范圍超過9個數(shù)量級，而每次測量響應速度要小于0.01s，連續(xù)兩次測量的相對誤差小于千分之一，技術(shù)難度可想而知。

易度團隊歷時七年苦心孤詣的研究，從2013年..款層流傳感器原理驗證機的誕生，到2014年..代控制板原理驗證機的研發(fā)，2015年底..臺層流質(zhì)量流量計工程樣機的研發(fā)成功，一直到2017年6月，..代層流質(zhì)量流量計的問世，2018年底順利通過國家計量院的型式評價認證。這其中沒有現(xiàn)成的經(jīng)驗可以借鑒，所有的工作都要從零開始，一遍一遍地設計，一次一次地試驗，失敗了，重新開始，重新改進，研發(fā)過程是痛苦的，但值得驕傲的是，易度團隊堅持了下來，啃下了一個個硬骨頭，并掌握了這項核心技術(shù)，成就了今天的產(chǎn)品。

目前該項技術(shù)已獲國家發(fā)明..兩項，同時在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內(nèi)，也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術(shù)，產(chǎn)品經(jīng)過國家.高機構(gòu)的驗證，成為中國..通過認證的通用型層流質(zhì)量流量計生產(chǎn)商。

永無止境：高效專注 增添中國力量

易度儀器成功研發(fā)出的層流質(zhì)量流量計和控制器，不僅能實現(xiàn)對氣體和液體質(zhì)量流量的測量，還能精準控制，是國內(nèi)..款自主研發(fā)的層流原理數(shù)字化產(chǎn)品。經(jīng)過無數(shù)次技術(shù)改進，產(chǎn)品正日趨成熟，實現(xiàn)了在-20℃到60℃環(huán)境下的正常使用，精度控制在1.0級以內(nèi)，重復性0.1%，響應時間達到0.01S。

聚焦用戶過程控制，半導體300多項關(guān)鍵工藝中，有光刻、氣相沉積、單晶生產(chǎn)等超過70%的工藝項點都與微流量測量相關(guān)；石墨烯等新材料的生產(chǎn)制造過程中，.常用的方法增強等離子的化學氣相沉積，也需要精準配給氣體和液體；等離子體發(fā)動機作為未來航天發(fā)展方向，在生產(chǎn)制造工藝和地面測試環(huán)節(jié)，需要測量小于1ml/min稀有氣體的質(zhì)量流量，這是等離子體發(fā)動機穩(wěn)定工作的關(guān)鍵測試工藝。

近五年，全球微流量測量領域業(yè)務每年以30%的速度迅猛增長，隨著以芯片制造、生物醫(yī)藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興制造業(yè)的迅猛發(fā)展，更加精細化的制造工藝對微流量測量控制儀器提出了更高要求。在當前國家大力發(fā)展制造業(yè)的背景下，易度儀器有責任也有信心繼續(xù)精鉆技術(shù)，專注流體測控領域，解決微流量測控領域難題。