層流氣體質量流量計響應時間比熱式的快，主要是因為層流壓差質量流量計的響應時間取決于獲取層流元件兩端壓力降的時間，這個時間和壓力波的傳播速度有關，壓力波屬于聲波的一種，傳播速度和聲波一樣快?。可達350米/秒，所以易度智能層流質量流量計快速響應型的響應時間可以達到20ms或更短，且仍在不斷進步中?。理論上層流原理質量流量計的極限響應速度能夠達到快于1毫秒（相當于1秒的1000分之一）。

        熱式質量流量計是通過溫度的變化或加熱功率的變化來計算流量的。由于傳熱是一個緩慢的過程，熱式質量流量計需要一定的時間來達到熱平衡狀態(tài)，從而才能準確測量溫度并計算流量。因此，熱式質量流量計的響應速度相對較慢，通常不如層流質量流量計快，要想縮短響應時間，需要毛細管更細，但目前熱式質量流量計的毛細管已經細到極限。

        最近一百年里，為了將熱式溫度探頭的質量縮小已經做了大量的工作。從最開始的熱絲，發(fā)展到毛細管，最后是半導體的納米結構，可以說幾乎達到了技術的極限。目前熱絲因其強度太低，容易損壞，同時易受污染，所以除少數科學實驗外已很少使用；毛細管目前是氣體熱式質量流量計的主流做法，特別對于小微氣體流量測量是精度、重復性、響應速度最佳的一種。目前毛細管的尺寸已經小于1毫米，而加熱絲（一般為鉑金絲）直徑已經小于0.2毫米，由于結構與強度的穩(wěn)定性要求，這個尺寸已趨于極限，最近10年來已沒有顯著進展。半導體納米結構的熱式傳感器（這就是常說的熱式芯片技術）主要用于汽車發(fā)動機進氣流量測量等，這些領域對價格和尺寸比較敏感。從微尺度方向設計傳熱結構確實有其優(yōu)勢，它的響應速度快于毛細管式，極限速度能夠達到0.5秒這個水平（毛細管的極限水平在1秒左右），這也基本達到了它的技術極限，最近10年沒有明顯進步。